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日本豐興AD-SL231D-916D-TOYOOKI
型號：AD-SL231D-916D
品牌：豐興（Toyoko Koki）
類型：氣動高真空角閥（Pneumatic Angle Valve）
定位：專為嚴苛工業(yè)環(huán)境設計，適用于超高真空（UHV）、高溫及腐蝕性氣體工況，常見于半導體、光伏和精密鍍膜設備。
泄漏率：<1×10?? Pa·m3/s（金屬密封），滿足半導體級真空要求。
密封選項：
金屬密封（銅/鋁）：耐高溫（最高250°C），抗等離子體腐蝕。
氟橡膠（FKM）：適用于常溫及一般腐蝕性氣體（如O?、N?）。
閥體材質：SUS316L不銹鋼（默認），抗鹵素氣體（Cl?、HBr）腐蝕。
表面處理：電解拋光（EP）或鍍鎳，減少顆粒污染和氣體吸附。
驅動方式：氣動（標準），開關時間 ≤0.3秒，支持高頻操作（>100萬次循環(huán)壽命）。
可選電動驅動：集成位置反饋，兼容PLC控制（24VDC/220VAC）。
| 參數 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 通徑（DN） | 50 mm（或定制DN16~DN200） |
| 連接方式 | CF法蘭（ISO-K）、KF法蘭、VCR |
| 壓力范圍 | 大氣壓 ~ 1×10?1? Pa |
| 驅動氣壓 | 0.4~0.6 MPa（潔凈干燥空氣） |
| 溫度范圍 | -20°C ~ +250°C（金屬密封） |
| 適用氣體 | 惰性氣體、腐蝕性氣體、CVD工藝氣體 |
| 型號 | AD-SL231D-304B | AD-SL231D-504B | AD-SL231D-916D |
|---|---|---|---|
| 閥體材質 | SUS304 | SUS316L | SUS316L（增強型） |
| 密封選項 | 金屬/氟橡膠 | 金屬/氟橡膠 | 金屬密封（默認） |
| 耐溫性 | ≤150°C | ≤200°C | ≤250°C |
| 典型應用 | 通用真空系統(tǒng) | 半導體刻蝕 | 半導體/CVD |
半導體設備：
刻蝕機腔室隔離、ALD/CVD反應腔的氣體通路控制。
光伏與顯示面板：
PECVD、濺射鍍膜機的真空系統(tǒng)閥門切換。
科研與航天：
粒子加速器、太空模擬艙的真空隔離。
關鍵選型因素：
氣體兼容性：若涉及腐蝕性氣體（如NF?、SiH?），需確認密封材質（金屬優(yōu)先）。
溫度需求：高溫工藝（>200°C）必須選擇金屬密封。
法蘭標準：需與現有管道匹配（如CF法蘭需配銅墊圈）。
安裝注意：
避免機械應力扭曲閥體，安裝后需做氦檢漏測試。
日本豐興AD-SL231D-916D-TOYOOKI
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